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簡要介紹了銦(In)的用途及國內(nèi)銦產(chǎn)業(yè)的現(xiàn)狀,對ITO薄膜的特性、應(yīng)用領(lǐng)域及高密度ITO靶材濺射鍍膜的優(yōu)點進(jìn)行了描述。重點對高密度ITO靶材的燒結(jié)工藝和成形方法的優(yōu)缺點及發(fā)展現(xiàn)狀進(jìn)行了闡述。探討了高密度ITO靶材生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展趨勢。
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